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納米壓痕測試儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度,、蠕變,、彈性功,、塑性功,、斷裂韌性、應力-應變曲線,、疲勞,、存儲模量及損耗模量等特性?？蛇m用于有機或無機,、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD,、CVD,、PECVD薄膜，感光薄膜,，彩繪釉漆,，光學薄膜，微電子鍍膜,，保護性薄膜,，裝飾性薄膜等。
納米壓痕測試儀的測量原理：納米壓入測試通過計算機控制載荷連續(xù)變化,，并在線監(jiān)測壓入深度,。一個完整的壓痕過程包括兩個步驟，即所謂的加載過程與卸載過程,。在加載過程中,，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品表面,，隨著載荷的增大,，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當載荷達到*大值時,，移除外載,，樣品表面會存在殘留的壓痕痕跡。
該設備測試的特點：
（1）試樣制備簡單,。測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求,，對被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求,，壓入深度在微納米尺度，是一種*損測試方法,。
（2）測量分辨力高,。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線,，可直接換算得到接觸面積,，無需對殘余壓痕面積進行測定,。
（4）測試內容豐富。
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