LS高速中空軸電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

隨著國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,，制程設(shè)備關(guān)鍵零部件,，LS特研制出的空心軸高速伺服電機(jī),，有著20多年行業(yè)應(yīng)用,。服務(wù)于半導(dǎo)體涂膠,、顯影,、清洗設(shè)備中,，吸附晶圓工藝，該電機(jī)具備高加速度,，速度范圍寬,，高響應(yīng)性等特點(diǎn)，在業(yè)內(nèi)廣受客戶好評(píng),。

一,、Spinner  Motor中空軸電機(jī)的特點(diǎn)

1、中空軸高速電機(jī)結(jié)構(gòu)：額定轉(zhuǎn)速：5000rpm,，最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm

2,、超快的加速/減速時(shí)間；

3,、低噪音,、低震動(dòng)、軸端跳動(dòng)系數(shù)低至,；

4,、軸孔采用真空空心軸設(shè)計(jì)，軸端個(gè)性化的設(shè)計(jì)，確保chunk運(yùn)行平穩(wěn)

5,、電機(jī)功率:750W,，采用水冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)，符合6寸,、8寸,、12寸晶圓的要求

6、針對(duì)不同用戶可以為客戶進(jìn)行軸端定制化設(shè)計(jì)

二,、高速中空電機(jī)的應(yīng)用范圍：
1,、曝光顯影設(shè)備 (涂膠，顯影) 光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層,，曝光,，顯影。
2,、清洗,、涂膠、顯影去膜設(shè)備,。
3,、適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗及噴霧工藝,。

三,、高速中空軸伺服產(chǎn)品規(guī)格及應(yīng)用領(lǐng)域

1、 750W – 5000 , 6000 rpm

2,、應(yīng)用領(lǐng)域（機(jī)型）

l 8寸,、 12寸半導(dǎo)體設(shè)備

l 涂膠、顯影,、清洗,、刻蝕等工藝

l 瞬時(shí)加速

l 特殊的軸端設(shè)計(jì)，確保軸端負(fù)載跳動(dòng)平穩(wěn)

               液體散熱