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臺式掃描電鏡主要應(yīng)用于對樣品微區(qū)形貌,，結(jié)構(gòu)與組成進(jìn)行觀察與分析,。 它以分辨率高,，景深好和操作簡單而被廣泛應(yīng)用于材料學(xué),，物理學(xué),，化學(xué),，生物學(xué)，考古學(xué),，地礦學(xué)和微電子工業(yè),。
1、清洗頻率
清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件,，其中包括:使用時間,、樣品種類、加速電壓及電子束流等,。
每次更換燈絲時,，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗,，不必清洗陽極和陽極帽,。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過大時，就應(yīng)清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌,。如果上述部位都已被清洗過,還有明顯的污染和象散跡象,，則應(yīng)拆下襯管進(jìn)行清洗。-般油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng),，每三個月就要清洗- -次,。 渦輪分子泵真空系統(tǒng)，正常使用,，每年清洗-次。
2,、清洗部位
需要強(qiáng)調(diào)指出的是物鏡下極靴孔,，如想清洗，須由有經(jīng)驗的廠家維修工程師來清洗,，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴(yán)重影響掃描電鏡的性能,。在發(fā)現(xiàn)掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后,就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定,，- 般由“70/20/10”規(guī)則判斷,。
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