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TJ單晶硅精密切割實(shí)驗(yàn)單拋硅片細(xì)孔加工wafer異形定制

來(lái)源:天津華諾普銳斯科技有限公司   2023年07月25日 16:40  

TJ單晶硅精密切割實(shí)驗(yàn)單拋硅片細(xì)孔加工wafer異形定制

硅片激光切割的原理:

    激光切割 電子行業(yè)硅基片的切割的又一新領(lǐng)域的應(yīng)用,。激光切割是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個(gè)非常小的光點(diǎn),,能量密度高,,因其加工是非接觸式的,,對(duì)工件本身無(wú)機(jī)械沖壓力,,工件不易變形,。熱影響極小,劃精度高,,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池板,、薄金屬片的切割和劃片。

應(yīng)用領(lǐng)域:


激光切割主要用于金屬材料及硅,、鍺,、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料劃片和切割,可加工太陽(yáng)能電池板、硅片,、陶瓷片,、鋁箔片等,工件精細(xì)美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調(diào)Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,,由計(jì)算機(jī)控制二維工作臺(tái),,能按輸入的圖形做各種運(yùn)動(dòng)。輸出功率大,,劃片精度高,,速度快,可進(jìn)行曲線及直線圖形切割,。

硅片的主要應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏發(fā)電和集成電路等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上

特點(diǎn):切割精度高,,表面平行度高,翹曲度和厚度公差小,,斷面完整性好,。

華諾激光專注于微米級(jí)的激光精密切割、鉆孔,、蝕刻,、刻線、劃片,、材料去除,、構(gòu)造、雕刻和特殊材料的打標(biāo),,主要應(yīng)用于LED芯片制造,,觸摸屏,LCD,,消費(fèi)類電子,,半導(dǎo)體,MEMS,,照明,,醫(yī)療等行業(yè),以及科研,、軍事,、航天航空等領(lǐng)域,涉及包括各種金屬及合金,、半導(dǎo)體,、陶瓷、各種透明材質(zhì),、薄膜和聚合物等各種材料,,公司已經(jīng)做過(guò)1000多個(gè)基于以上材料的各種激光微加工試驗(yàn)和方案。

梁工


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