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對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器MFC來說，在有些場景,，例如半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)，分析儀器行業(yè),，科研實(shí)驗(yàn)場景等,，需要對(duì)氣體進(jìn)行微流控制，使其流量很小,，需要小于1SCCM,，同時(shí)這種微流控制也需要較高的響應(yīng)時(shí)間，因?yàn)榱髁亢苄?，瞬間就會(huì)在氣路中通過所需的流量,，所以如果MFC的響應(yīng)時(shí)間太慢的話，流量控制就很困難,。
我司的高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC,，最小量程可以做到2SCCM（滿量程流量）,，可以控制到0.01SCCM,，響應(yīng)時(shí)間＜200ms，很適合微流控制,。
對(duì)于這種微流控制,，即使是用模擬信號(hào)操控，也需要選用數(shù)字款流量控制器（既帶有數(shù)字信號(hào),，也帶有模擬信號(hào)）,，其內(nèi)部的處理方式是數(shù)字化芯片控制，而模擬款（只帶有模擬信號(hào)）則只靠電路的線性控制,，數(shù)字款MFC控制的更穩(wěn)定、更精確,，尤其是對(duì)微小流量氣體的流量控制,，會(huì)體現(xiàn)的更明顯。
以下是某客戶定制的滿量程為5ml/min的流量控制器,，演示視頻,，客戶要求流量微小流量控制到0.25ml/min。
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