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一、納米壓印技術(shù)是一種新型的微納加工技術(shù),。該技術(shù)通過機(jī)械轉(zhuǎn)移的手段,，達(dá)到了超高的分辨率,，有望在未來取代傳統(tǒng)光刻技術(shù),，成為微電子,、材料領(lǐng)域的重要加工手段,。
二,、納米壓印技術(shù),，是通過光刻膠輔助，將模板上的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到待加工材料上的技術(shù),。報(bào)道的加工精度已經(jīng)達(dá)到2納米,，超過了傳統(tǒng)光刻技術(shù)達(dá)到的分辨率。
三,、過程：
第一步是模板的加工,。一般使用電子束刻蝕等手段，在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板,。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子,，因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率。
第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移。在待加工的材料表面涂上光刻膠,，然后將模板壓在其表面,，采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,，防止模板與材料直接接觸,，損壞模板。
第三步是襯底的加工,。用紫外光使光刻膠固化，移開模板后,，用刻蝕液將上一步未去除的光刻膠刻蝕掉,，露出待加工材料表面，然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工,，完成后去除全部光刻膠,，最終得到高精度加工的材料。
四,、優(yōu)勢特點(diǎn)：由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,，而是使用機(jī)械手段進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移，這種方法能達(dá)到很高的分辨率,。報(bào)道的最高分辨率可達(dá)2納米,。此外，模板可以反復(fù)使用,，無疑大大降低了加工成本,，也有效縮短了加工時(shí)間。因此,，納米壓印技術(shù)具有超高分辨率,、易量產(chǎn)、低成本,、一致性高的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),，被認(rèn)為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。
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