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一,、測量顯微鏡是采用用透,、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭,、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器,。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門,。工作臺除作X,、Y坐標(biāo)的移動外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn),，亦可以進行高度方向做Z坐標(biāo)的測量,；采用雙筒目鏡觀察。
二,、主要優(yōu)點：小巧便攜,，只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行精確數(shù)據(jù)測量,、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光,、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用,，已成為一種可靠實用的精密測量儀器,。
三、以裂像聚焦指示器為測量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量,。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測量點的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進行測量,。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉,，金相,，偏光等多種觀察功能。所以對極細微的間隙高低差,，夾雜物,、微米以下的突起、細微劃痕,、以及金相組織進行觀察,。
四、AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(ConstantHeightMode)來獲得,，也就是在X,，Y掃描過程中,，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定,，通過測量微懸臂Z方向的形變量來成像,。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度,，通常在觀察原子,、分子像時用得比較多，而對于表面起伏比較大的樣品不適用,。
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