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質(zhì)量流量控制器不僅能檢測總流量,，并且能在檢測時(shí)自動(dòng)控制總流量,。客戶能根據(jù)本身的所需設(shè)置總流量,。一般來說,，這種質(zhì)量流量計(jì)僅用作流量測量或監(jiān)測。該流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質(zhì)量流量（無氣溫和負(fù)擔(dān)應(yīng)對(duì)）,。傳感器受熱橋測得的總流量訊號(hào)送至放大器調(diào)大,。
將調(diào)大后的流量檢測電壓與設(shè)置電壓進(jìn)行較為，并且調(diào)大差分信號(hào)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)閥,。通過通道的閉環(huán)控制流使其相等設(shè)置的總流量,。分流器取決于主通道中的總流量。與本設(shè)備配置的總流量顯示儀表,，具有穩(wěn)壓電源,、數(shù)字電壓表、電位計(jì),、外圍設(shè)備,、內(nèi)部轉(zhuǎn)換和三位閥控控制開關(guān)等。當(dāng)所需調(diào)節(jié)總流量時(shí),，就所需這個(gè)控制器,。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器,、通道,、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，氣體通過質(zhì)量流量控制器時(shí),，大部分氣體通過層流元件,，成比例的部分氣體通過流量傳感器。 采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為申信號(hào),，以此為基準(zhǔn)測量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小,。
優(yōu)勢：
1、總流量的檢測和調(diào)節(jié)不因氣溫或負(fù)擔(dān)的波動(dòng)而失準(zhǔn),。
2,、檢測調(diào)節(jié)的智能化。
3,、確切地按量調(diào)節(jié)總流量,。
4、應(yīng)用范圍寬,。
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