通常把離子束斑大于10μm 以上的,，稱為非成像宏觀探針（nonimaging macroprobes） ,；把離子束斑小于10nm 的稱為離子微探針（microprobes）。

離子探針儀器的四個分類和應用：就成像技術而言,，可分為掃描型離子微探針（scanning ion microprobes） 和攝像型離子探針,。前者的一次離子束斑直徑較小,，（φ≤1μm）,，并在樣品上掃描,，類似于掃描電鏡（SEM）和掃描俄歇微探針（SAM），也叫離子微探針,。中國賣儀器網后者是一次離子束斑較大（φ～300μm ） ,，并靜止不動，而二次離子光學（secondary ion optics）掃描成像,，也叫離子顯微鏡（ion microscope），空間分辨率～0.2μm ,。

在離子探針迅速發(fā)展中,，要說明或列出所有不同的儀器是不可能的。概括地說,，可以分為以下幾類。

1.非成像離子探針
2.離子顯微鏡
3.掃描離子微探針
4.圖像解剖離子探針（image dissecting ionprobes）

離子探針儀器的應用
像離子探針適用于許多不同類型的樣品,。下面是給出一些代表性例子。

一,、金屬樣品
這是理想的樣品,，不會荷電。提出首先可用SEM 直接找出感興趣的分析區(qū),。使用剖面樣品和使用掃描離子探針,，沿剖面線掃描的方法是一種有用的技術,，可作為動態(tài)SIMS 的補充?？捎糜诮饘傺趸锍砷L,、腐蝕、焊接,、應力失效斷裂和晶粒間界偏析等方面的研究,。

二、半導體器件
檢測摻雜分布剖面和層形結構,。隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,，掃描離子探針分析越來越重要。

三,、非導體樣品
高聚物和玻璃產品是典型絕緣樣品,。為子解決荷電問題，火焰光度計已開發(fā)出了微聚焦掃描原子束,，可以對絕緣樣品產生高質量的離子像,。但當橫向分辨率需優(yōu)于5μm 時，上述源就不能滿足要求了,。此時仍需用聚焦微離子束,。這方面己成功地得到了家蠅復眼的離子像。應用的另一個領域是復合材料,，尤其是研究這類材料破裂界面的情況,。