關(guān)于清潔度分析,，光學(xué)顯微鏡和掃描電子電子顯微鏡是清潔度分析領(lǐng)域常用的兩種儀器,，那么這兩種分析方法有什么區(qū)別呢,？

1、從使用條件來(lái)看

光學(xué)顯微鏡的信號(hào)源是可見(jiàn)光,，可見(jiàn)光的波長(zhǎng)較長(zhǎng),，可以輕松繞過(guò)空氣分子,，因此可以在大氣環(huán)境下運(yùn)行,。

掃描電子顯微鏡的信號(hào)源是電子束,，相對(duì)于可見(jiàn)光，電子束的波長(zhǎng)更短,，所以分辨率更高,，圖像更清晰，不過(guò),，較短的波長(zhǎng),，繞過(guò)空氣分子的能力將會(huì)變差，因此掃描電子顯微鏡內(nèi)部會(huì)通過(guò)多級(jí)真空泵,，將空氣分子抽走,，以維持一定的真空度。

2,、從測(cè)試結(jié)果來(lái)看

光學(xué)顯微鏡由于其價(jià)格低,、操作簡(jiǎn)單在清潔度分析領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。在光鏡下,，金屬顆粒會(huì)有一定的反光,，非金屬顆粒不反光，因此光鏡可以根據(jù)顆粒是否反光,，來(lái)大致區(qū)分金屬和非金屬,，但是局限性是光鏡無(wú)法分析出具體是哪一種類(lèi)的顆粒。

掃描電子顯微鏡除了可以找到質(zhì)顆粒外,，可以分析顆粒的種類(lèi),。通過(guò)搭配能譜探測(cè)器，通過(guò)能譜信號(hào),，進(jìn)一步給出顆粒的元素種類(lèi)和含量信息,，進(jìn)而對(duì)照數(shù)據(jù)庫(kù)，就能判斷出顆粒的種類(lèi),。 例如:

· 在汽車(chē)領(lǐng)域，硬質(zhì)顆粒更受關(guān)注,，因此希望區(qū)分出SiO₂,、Al₂O₃、W等,；

· 在理電領(lǐng)域,，金屬顆粒更受關(guān)注，如 Cu,、Zn,、Fe 等;

掃描電子顯微鏡和清潔度分析對(duì)樣品分別有什么要求呢 ?

掃描電子顯微鏡對(duì)制樣的要求:粉末樣品一定要粘牢,，未粘牢的顆粒需要用洗耳球或壓縮空氣吹掃干凈。因?yàn)楣潭ú焕蔚念w粒在抽真空過(guò)程中會(huì)飄浮起來(lái),，污染光路,，嚴(yán)重者甚至可撞破能譜探測(cè)器的探頭，對(duì)掃描電子顯微鏡造成一定的損壞,。

清潔度分析對(duì)制樣的要求:清潔度分析的樣品為濾膜,，濾膜樣品不能吹掃。因?yàn)椴糠诸w粒物靠重力落在濾膜上,，吹掃會(huì)損失這部分顆粒,，造成結(jié)果的不準(zhǔn)確。

因此,，掃描電子顯微鏡的安全性的清潔度分析的準(zhǔn)確性產(chǎn)生了矛盾,，前都要吹掃，后者不能吹掃,，那該如何調(diào)和這一矛盾,？

兼顧掃描電子顯微鏡安全性和清潔度分析準(zhǔn)確性的制樣方法——濾膜顆粒固定法！

濾膜顆粒固定法：將配置好的固定液滴在錫箔紙上并涂勻,，將濾膜平鋪在固定液上,。由于毛細(xì)現(xiàn)象，固定液會(huì)順著濾膜微孔滲到

濾膜上表面,，將濾膜顆粒固定,。該方法的固化時(shí)間為20分鐘，每個(gè)濾膜的制樣成本不到0.5元,。

該固定方法,，可將顆粒和纖維固定在濾膜上，同時(shí)固定液不會(huì)漫過(guò)顆粒,，解決了掃描電子顯微鏡的安全性和清潔度分析的準(zhǔn)確性之間的矛盾!