“碳達峰”和“碳中和”一直都是能源領域的熱點話題，作為助力“雙碳”戰(zhàn)略的生力軍，光伏產(chǎn)業(yè)具有舉足輕重的地位。目前光伏的主力是硅太陽能電池，它們具有效率高,、穩(wěn)定性好、產(chǎn)業(yè)鏈完備、使用壽命長的優(yōu)勢,。然而，晶硅電池的轉換效率到達瓶頸,，且從硅料到組件至少經(jīng)過4 道工序,，單位制程需要3 天以上，同時還需要大量人力,、運輸成本等,。為了讓太陽能的利用更加便捷、高效且廉價,，科學界和工業(yè)界正在研制新型太陽能電池,；鈣鈦礦太陽能電池就是備受關注的新能源，鈣鈦礦疊層效率極限可達50%,，而鈣鈦礦組件在單一工廠完成生產(chǎn),，原材料經(jīng)過加工后直接成組件,，沒有傳統(tǒng)的“電池片”工序，大大縮短制程耗時,。但是,，如何制備大面積且能保持較高效率的鈣鈦礦太陽能電池，依然是難題,，也成了制約其產(chǎn)業(yè)化應用的瓶頸,。

       原子層沉積ALD在鈣鈦礦電子傳輸層、空穴傳輸層,、鈍化層,、封裝阻水層等領域已取得了突破性進展，獲得了業(yè)界的認可,。為了更高效地服務于世界光伏產(chǎn)業(yè)高地,，原速也在上海建立了技術研發(fā)中心。截止目前,，已形成服務于鈣鈦礦電池研發(fā),、中試、100MW,、 GW級量產(chǎn)的產(chǎn)線ALD技術解決方案,。

1、ALD-SnO₂ 應用于鈣鈦礦電池電子傳輸層 

• ALD 相比于傳統(tǒng)沉積技術,，在制備超薄膜時具有更優(yōu)異的均勻性和保形性,，以及缺陷更少的優(yōu)點

2、ALD-NiO 應用于鈣鈦礦電池空穴傳輸層 

• ALD 可用于制備性能優(yōu)異的超?。?lt;10 nm）NiO 空穴傳輸層

3,、ALD 應用于鈣鈦礦電池鈍化層 

• ALD 超薄膜可以應用于界面處，通過和懸掛鍵反應的方式減少表面缺陷,，或者排斥載流子,，達到鈍化的效果

4、ALD 應用于鈣鈦礦電池封裝 

• 致密的 ALD 膜可達到有效的阻水氧的效果