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勻膠旋涂儀在勻膠過程中可能會出現(xiàn)的問題?

來源:華儀行(北京)科技有限公司   2023年05月28日 20:53  
  勻膠旋涂儀通過在片材保持器上產(chǎn)生負壓來吸收待旋涂在片材固定器上的基材,,并且膠滴到基材表面上,。離心力通過精確調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速而改變,。同時,膠水流由滴膠裝置控制,,以達到薄膜制備所需的厚度,。此外,膜厚度還取決于環(huán)境因素,,如旋涂時間,、膠水粘度、殘余涂層溫度和濕度,。勻膠旋涂儀廣泛應(yīng)用于I砸EMS微加工,,生物,材料等領(lǐng)域,,它可以用來制備厚度小于10納米薄膜,。也常應(yīng)用在約1-100微米厚光刻膠沉積層的光刻工藝中。在使用過程中勻膠工藝常見問題有:
  1,、表面出現(xiàn)氣泡可能原因:滴膠時膠中帶有氣泡,;噴嘴*端切囗有問題或帶刺問題
  2,、四周呈現(xiàn)放射狀條紋可能原因:膠液噴射速度過高;設(shè)備排氣速度過高,;膠涂覆前靜止時間過長,;勻膠機轉(zhuǎn)速或加速度設(shè)置過高;片子表片留有小顆粒膠中有顆粒
  3,、中心出現(xiàn)漩渦圖案可能原因:設(shè)備排氣速度過高,;噴膠時膠液偏離襯底中心;旋圖時間過長,;加速度過高
  4,、中心出現(xiàn)圓暈可能原因:不合適的托盤,噴嘴偏離襯底中心
  5,、膠液未涂滿襯底可能原因:給膠量不足,;不合適的勻膠加速度
  6、出現(xiàn)針孔現(xiàn)象可能原因:空氣中粉塵,;光刻膠內(nèi)存在顆?;驓馀荩灰r底上存在顆粒

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