氣動波紋管泵的特點(diǎn)是什么

來源：深圳九州工業(yè)品有限公司 2023年05月08日 17:56

FLP系列的特點(diǎn)

適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性
通過進(jìn)行相位控制,，提高了負(fù)載變動時的跟蹤性能,。特別是在單晶圓工藝等壓力波動頻繁的生產(chǎn)線中,，其高負(fù)載跟隨性可實(shí)現(xiàn)吐出量和吐出壓力的穩(wěn)定運(yùn)行,。

無需阻尼器,，節(jié)省空間
由于不需要安裝阻尼器,，因此可以節(jié)省設(shè)備空間。配管作業(yè)簡單,，可減少氟樹脂接頭等昂貴的配管材料,，有助于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型輕量化。

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