東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差

來源：武漢科賽思機電有限公司 2023年04月28日 12:07

東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

１．在G1?G2接觸子間放入微動臺,。

２．先移動G1接觸子,、控制部指示値為行程量的一半時,，（－210～－220μｍ）固定接觸子,。

３．然后移動G2接觸子,、控制部指示値為０μｍ時固定接觸子。

４．微動臺朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ),、確認(rèn)控制部指示値,。

５．微動臺至進給原位置（零位置）、確認(rèn)控制部指示値為0μm〔注１〕,。

６．微動臺在進給方向進給100μm(＋100μm)、確認(rèn)控制部指示値,。

７．微動臺回到原位置（零位置）,、確認(rèn)控制部指示値為0μm〔注１〕,。

８．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過1.5μm,。

９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整、重復(fù)[１．]～[８．]的作業(yè),。不超過時進行接下來的檢查,。

〔注１〕微動臺在原位置（零位置）時、控制部指示値不為0μm時,、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔４．〕～〔６．〕的作業(yè),。

　※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量（別紙）。

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