雙氧水也叫過(guò)氧化氫,，過(guò)氧化氫是一種重要的化工原料,，化學(xué)式為H²O²,。純過(guò)氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體,，可任意比例與水混溶,，是一種強(qiáng)氧化劑,，水溶液俗稱雙氧水，為無(wú)色透明液體,。雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電解法,、蒽醌法,、異丙醇法,、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等，蒽醌法是生產(chǎn)雙氧水的主要方法,，國(guó)內(nèi)99%以上的雙氧水裝置采用該工藝,。

雙氧水的作用

雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí)、食品級(jí),、工業(yè)級(jí)等,。電子級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路的化學(xué)試劑,，在半導(dǎo)體制程前端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠,。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑,，蝕刻劑和光刻膠去除劑,，還可用于高級(jí)絕緣層制取,，電鍍液無(wú)機(jī)雜質(zhì)去除，電子行業(yè)中銅,、銅合金和鎵、鍺的處理,，以及太陽(yáng)能硅晶片的蝕刻和清洗,。從行業(yè)產(chǎn)量來(lái)看，2021年我國(guó)高純電子級(jí)雙氧水產(chǎn)量9.44萬(wàn)噸,，同比增長(zhǎng)32.0%。

雙氧水的顆粒管控重要手段

電子級(jí)雙氧水屬于濕電子化學(xué)品,，技術(shù)壁壘較高。雙氧水的顆粒管控也顯得尤為重要,。普洛帝測(cè)控專門研發(fā)了針對(duì)雙氧水的顆粒管控設(shè)備PMT-2,。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用,。