近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到電話,，都是咨詢管控電子級硫酸的儀器,。

什么是電子級硫酸？

電子級硫酸又稱高純硫酸,、超純硫酸,，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學試劑,。

電子級硫酸有哪些應(yīng)用,？

電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程,，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒,，無機殘留物和碳沉積物。

為什么要對電子級硫酸進行顆粒管控,？

電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率,、電性能及可靠性有著重要的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量的電子化學品,，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質(zhì),，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達到ppt級（ppt=1ng/Kg=10-12）,。

目前,，我國電子級硫酸產(chǎn)品依賴德國BASF等外企進口，嚴重制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展,，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一,。

近兩年，我國電子級硫酸制備技術(shù)取得突破,，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高,，電子級硫酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）級別,，與國際電子化學品供應(yīng)量好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一級（金屬離子<10ppt）,。

基于上述原因，我國新的電子級硫酸標準將于2023年5月1日正式施行,，也將顆粒管控提到了標準管控層面,。

電子級硫酸管控有哪些難點？

有2個,，一個是硫酸的腐蝕性,，一個是硫酸的濃度,。98%濃度的電子級硫酸的腐蝕性很強,，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測,，接液材質(zhì)達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測,，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩,。

如何解決,？

針對這2個問題，普洛帝研發(fā)團隊經(jīng)過反復試驗,，攻破了這2個難點,，將電子級硫酸的檢測濃度提升到98%。在高濃度強酸性的情況下,，依然可以實現(xiàn)顆粒管控的準確性,。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號PMT-2,，選用0.1-1.0um檢測范圍的強腐蝕性傳感器，實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的,。目前,，已經(jīng)在江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用,。