1,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。
2、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,,如冷凝器、除塵器等,。
3,、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求。
如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度。
另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用。
5,、真空設備對油污染的要求,。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等,,如果要求不嚴格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達到清潔真空要求,。
6、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強范圍,。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作,。
7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外,。
8,、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,,最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級,。
9,、真空泵的價格、運轉及維修費用,。
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