日本歐姆龍：微米級精度控制,，電子行業(yè)“芯”發(fā)展

來源：上海茂碩機械設(shè)備有限公司 2023年03月27日 11:09

歐姆龍激光隱切,，即激光隱形切割，是目前主流的芯片切割技術(shù),。這種技術(shù)可以將小功率的激光聚焦在一個直徑僅有100多納米的光斑上,，形成巨大的局部能量，然后將晶圓切割開,，可有效能避免大功率激光對芯片造成的影響,。

晶圓表面翹曲，切割精度難以保證

由于晶圓表面翹曲,，切割晶圓時如果無法實時判別其高度,，激光焦點便無法精確落在晶圓改質(zhì)層，導(dǎo)致切割精度下降,。

解決方案

實時高度跟隨控制

切割晶圓時,，通過位移傳感器實時測量產(chǎn)品表面微小高度波動，并實時補償?shù)郊す馄魉诘腪軸,，確保激光焦點精確落在晶圓改質(zhì)層,。

高速位置比較輸出控制

通過采集實時的編碼器反饋進(jìn)行位置比較，與激光器同步輸出信號進(jìn)行相位同步,，在運動軌跡的所有階段以恒定的空間（而非時間）間隔采集高度數(shù)據(jù),，確保高度跟隨算法的精度保證,。

由此，有效避免了激光在加速,、減速和轉(zhuǎn)角段的過度加工等,，使激光均勻地作用在被加工物體上。

PWM（脈沖寬度調(diào)制）控制技術(shù)

通過控制器直接產(chǎn)出開關(guān)量信號,，經(jīng)功率放大模塊后直接控制電機電流環(huán),。無模擬量干擾、無模擬量非線特性,、無模擬量零漂,，無驅(qū)動器電流環(huán)延遲，使平臺運動更快,，更直接,，提升運動響應(yīng)性和穩(wěn)定精度。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

聯(lián)系我們