真空系統(tǒng)其實就是真空機(jī)組的一個類似的稱呼，真空機(jī)組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設(shè)備,，它不見得有一些諸如散熱器,，冷凝器等等設(shè)備存在。而一般能稱為真空系統(tǒng)的肯定是各種零部件齊全,。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多,，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件,。舉例來說：一個真空處理用的容器,，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對容器進(jìn)行抽空時,，容器上要有真空測量裝置,，這就構(gòu)成了一個簡單的真空抽氣系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來說有多少泵組成呢?這個是不確定的,，我們先來認(rèn)識一下可能存在的泵的名詞解釋,。

??主泵：在真空系統(tǒng)中,，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵,。

??前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵,。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。

??粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣,，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵,。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵,。

??維持泵：在真空系統(tǒng)中,，氣量很小時，不能有效地利用前級泵,。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺小型旋片泵,，就是維持泵,。

??事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空，而想要獲得高真空時,，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵,，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后,，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,，以便高真空泵能單獨保持真空。認(rèn)為如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴(kuò)散泵,，為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,，通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求,，還可以在管路中加上除塵器,、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道,、真空泵入口放氣閥,，散熱器等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng),。