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“旋涂機(jī)”是一種利用旋轉(zhuǎn)離心力的涂布裝置,，也被稱為“旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)”,。對于平滑的被涂物（工件）,，能夠形成薄且均勻的涂層,。旋涂機(jī)的用途非常廣泛，代表性用途包括半導(dǎo)體晶圓的表面處理,、光阻涂布等流程類工序,，以及光學(xué)媒介涂膜、鏡頭底劑及調(diào)光液的涂布等,。
A. 旋轉(zhuǎn) B. 被涂物表面C. 涂液
將涂液滴落在被涂物（工件）的中心，進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn),。加速旋轉(zhuǎn)會對涂液施加離心力,，使涂液擴(kuò)散到整個表面并成膜。涂布膜厚取決于涂液的粘度,、被涂物的轉(zhuǎn)速,、旋轉(zhuǎn)啟動加速度、與干燥速度相關(guān)的排氣,。
旋涂的原理是依靠旋轉(zhuǎn)離心力將多余的涂液甩離被涂物,，因此實際成膜的液量要少于滴落的液量，存在會導(dǎo)致材料損耗的缺點,。
為了通過排氣控制干燥速度,，防止涂液飛濺到設(shè)備外部，避免異物混入,，旋轉(zhuǎn)體及滴落的機(jī)構(gòu)通常都會被收納在箱體中,，或采用涂裱時關(guān)閉上蓋的設(shè)計式樣。
設(shè)備的基本原理在近幾十年并未改變,，但適用于被涂物不同尺寸,、重量、材質(zhì)的裝置,，轉(zhuǎn)速（速度）控制,、自動滴落之類的規(guī)格功能等，都實現(xiàn)了更加多樣化的發(fā)展,。
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