用于NC數(shù)控機床海德漢HEIDENHAIN光柵尺

海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼保 護光柵尺,、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌,，避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響,。 自動向下壓的 彈性密封條保持外殼密封,。

讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運動。 讀 數(shù)頭通過一個聯(lián)軸器與外部安裝架連接,， 聯(lián)軸器可以補償光柵尺與機床導(dǎo)軌間不可 避免的對正誤差,。

敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測量機,、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備,，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。

增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計數(shù)信號數(shù)量,。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點,，開機時必須執(zhí)行參考點回零，操作非常簡單,、快捷,。

絕對式光柵尺無需執(zhí)行參考點回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的絕對位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸,。

海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的

測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵,。

這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大

長度的光柵尺,，用鋼帶作為光柵尺基體,。

海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制

造精密光柵。

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵

線,；典型柵距：40 μm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻柵線（典

型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻

線格柵（典型柵距：8 μm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵,；強抗污能力；典型柵距：不超過

8 μm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵,，超高反光性能,；典型柵距：不超過

2 μm

除極小柵距外,，由該工藝刻制的光柵擁有

優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃

描法,，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵,。

用于NC數(shù)控機床海德漢HEIDENHAIN光柵尺