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一,、背景介紹：
1.分辨率方面,，一是可以通過原子力顯微鏡(AFM)或掃描近場顯微鏡(SNOM)等近場技術(shù)來提高,，二是可以通過使用短波長光源來提高,，三是可以通過非線性吸收實現(xiàn)超分辨率成像或制造,。
2.制造速度方面，除了工程學(xué)方法外,，隨著激光技術(shù)的發(fā)展,，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻,、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度,。
3.并行激光加工技術(shù)可以將二維加工技術(shù)擴(kuò)展到三維加工，為未來微納加工技術(shù)的發(fā)展提供新的方向,；同時可以地廣泛應(yīng)用于傳感,、太陽能電池和超材料領(lǐng)域的表面處理和功能器件制造,，對生物醫(yī)學(xué)器件制造、光通信,、傳感,、以及光譜學(xué)等領(lǐng)域得發(fā)展研究具有重要意義。
二,、特點與注意事項：
1.由于近場效應(yīng),，接觸模式可以實現(xiàn)光學(xué)超分辨率；二是與傳統(tǒng)的基于AFM/SNOM“筆尖”的近場直接書寫方法相比,，不僅可以顯著提高制造速,，同時還避免了“筆尖”的磨損。
2.大多數(shù)情況下微球體的分布過程不受控制,，因此在大規(guī)模生產(chǎn)中仍然面臨許多挑戰(zhàn),；二在大面積制造中不能避免缺陷，導(dǎo)致該技術(shù)僅于科學(xué)研究而不是工業(yè)生產(chǎn),。
三,、區(qū)別與聯(lián)系：
1.金屬及半導(dǎo)體材料的表面微加工，表面微加工就是在材料的表面進(jìn)行微納米級線,、孔和凹槽的制備,，對加工具有較高的技術(shù)要求。而飛秒激光加工技術(shù)則是開展表面微加工的有效工具,。在理想的表面微加工狀態(tài)下,，應(yīng)該保持材料外部的最小損傷。
2.光聚合材料的內(nèi)部三維成型,，光聚合材料具備光敏化學(xué)作用,。在光聚合材料的內(nèi)部，運(yùn)用飛秒激光加工技術(shù)可以實現(xiàn)較高分辨率的三維加工,，主要原理就是產(chǎn)生了雙光子聚合現(xiàn)象,。對飛秒激光進(jìn)行聚焦，產(chǎn)生雙光子吸收效應(yīng),，作用于光聚合物材料的內(nèi)部產(chǎn)生固化現(xiàn)象,，制備出三維的微結(jié)構(gòu)。
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