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CKD喜開理PARECT電空減壓閥的

來源:上海藍圖機械設(shè)備有限公司   2023年01月31日 10:28  

本品是30mm寬的小型、輕量,、高性能電空減壓閥,。適合半導體、精密貼裝領(lǐng)域的先導減壓閥的控制,、各種按壓控制,、微速氣缸控制。

  • 行業(yè)


    • 半導體制造工序(后工序)

產(chǎn)品特點:

【提高性能,,追加產(chǎn)品種類】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加壓力種類 -100kPa(負壓),、200kPa(中壓)、900kPa(高壓)

【小型】
30×39×57.1(寬×高×長),。
小型,、輕量,有助于裝置的小型化,。

【高精度】
通過電氣信號,,高精度、高速響應地控制流體壓力,。
重復性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
響應時間:0.1sec(無負荷)

【動作狀態(tài)采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器,,設(shè)定壓力時,顯示為綠色,,設(shè)定以外與錯誤時,,顯示為紅色。

【配管,、配線作業(yè)簡單】
空氣配管:采用快插接頭,,電氣配線:采用M12接頭,配管,、配線作業(yè)簡單,。

型號名稱壓力控制范圍(MPa)配管口徑(Φ)備注
EVS2-100PARECT 電空減壓閥0.001~0.14, 6
EVS2-500PARECT 電空減壓閥0.005~0.5MPa4, 6
EVS2-10VPARECT電空減壓閥-0.0053~-0.09124,6
EVS2-200PARECT電空減壓閥0.002~0.24,6
EVS2-900PARECT 電空減壓閥0.009~0.94,6


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