本品是30mm寬的小型、輕量,、高性能電空減壓閥,。適合半導體、精密貼裝領(lǐng)域的先導減壓閥的控制,、各種按壓控制,、微速氣缸控制。
行業(yè)
半導體制造工序(后工序)
產(chǎn)品特點:
【提高性能,,追加產(chǎn)品種類】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加壓力種類 -100kPa(負壓),、200kPa(中壓)、900kPa(高壓)
【小型】
30×39×57.1(寬×高×長),。
小型,、輕量,有助于裝置的小型化,。
【高精度】
通過電氣信號,,高精度、高速響應地控制流體壓力,。
重復性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
響應時間:0.1sec(無負荷)
【動作狀態(tài)采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器,,設(shè)定壓力時,顯示為綠色,,設(shè)定以外與錯誤時,,顯示為紅色。
【配管,、配線作業(yè)簡單】
空氣配管:采用快插接頭,,電氣配線:采用M12接頭,配管,、配線作業(yè)簡單,。
型號 | 名稱 | 壓力控制范圍(MPa) | 配管口徑(Φ) | 備注 |
---|---|---|---|---|
EVS2-100 | PARECT 電空減壓閥 | 0.001~0.1 | 4, 6 | |
EVS2-500 | PARECT 電空減壓閥 | 0.005~0.5MPa | 4, 6 | |
EVS2-10V | PARECT電空減壓閥 | -0.0053~-0.0912 | 4,6 | |
EVS2-200 | PARECT電空減壓閥 | 0.002~0.2 | 4,6 | |
EVS2-900 | PARECT 電空減壓閥 | 0.009~0.9 | 4,6 |
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