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測(cè)量顯微鏡技術(shù)應(yīng)用
一,、介紹：
(1)測(cè)量顯微鏡是采用用透,、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭,、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器,；
(2)廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門(mén),。工作臺(tái)除作X,、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn),，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量,；
(3)采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透,、反射照明外還可以作斜光線照明,。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量,。
二,、分類(lèi)介紹：
(1)光學(xué)測(cè)量顯微鏡，工作臺(tái)除作X,、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，是一種理想的固定場(chǎng)所小型精密測(cè)量?jī)x器,。
(2)數(shù)碼測(cè)量顯微鏡,，小巧便攜，只需一臺(tái)計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測(cè)微觀放大圖像,，進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測(cè)量,、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場(chǎng)所觀測(cè),。
(3)Z軸非接觸式,，以裂像聚焦指示器為測(cè)量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)方式進(jìn)行非接觸高低差測(cè)量。不僅可以對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測(cè)量點(diǎn)的表面狀態(tài),對(duì)高度,深度,高低差等進(jìn)行測(cè)量,。
三,、應(yīng)用：主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè),、以及一些精密工程,，在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè)，生物物醫(yī)學(xué),、系統(tǒng)等等有廣泛的應(yīng)用,，特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造，觀察零件直接的精確距離,，是*精密儀器,。
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