一、UVW平臺介紹

1,、這是一種可以實(shí)現(xiàn)以平面上任意一點(diǎn)為中心,，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的裝置，并可沿著任意的方向平移,。
2,、此平臺和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作,，重復(fù)定位精度一般可達(dá)±1μm,；

UVW平臺和以前的xyθ平臺相比，有以下幾點(diǎn)不同：
1,、控制精度高于xyθ平臺,；
2、UVW平臺可以平面上任意一點(diǎn)為中心做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動（包括無限遠(yuǎn)）,；而xyθ平臺由于僅僅依靠一個電機(jī)的轉(zhuǎn)動控制,，所以旋轉(zhuǎn)中心必須是固定在平臺上某處（θ電機(jī)連接處），且必須隨平臺一同運(yùn)動,。
3,、基于第二點(diǎn)的區(qū)別，顯然UVW平臺是需要一個絕對坐標(biāo)系作為參考系,，其旋轉(zhuǎn)中心才有意義,；而xyθ平臺則必須是一個隨平臺動的坐標(biāo)系作為參考系，這樣控制計算方法便不一樣了,。

UVW平臺工作模式如下圖：

二,、視覺對位計算方法

簡單說明一下視覺對位和運(yùn)動控制思路：
1、通過UVW平臺供應(yīng)商提供的說明書,，找到機(jī)械參數(shù),，得到UVW三個軸的初始坐標(biāo)（基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系）；
2,、通過視覺標(biāo)定方法,，確定相機(jī)坐標(biāo)系到UVW平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換矩陣；確定標(biāo)志物模板基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系的坐標(biāo)值（x_m, y_m）,；
3,、通過相機(jī)得到標(biāo)志物模板位置和待糾偏標(biāo)志物之間的x、y,、θ偏移量（基于UVW平臺原點(diǎn)坐標(biāo)系）,；
4、按照上圖公式,，輸入三個軸初始坐標(biāo),，設(shè)置旋轉(zhuǎn)中心為(0,0),，輸入θ偏移量，可得到UVW三軸新的坐標(biāo)值,，以及待糾偏物體的新的坐標(biāo)，以及三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量A1,、A2,、A3；
5,、輸入上一步求得的UVW三軸新的坐標(biāo)值,，另外通過上一步求得的待糾偏物體的新的坐標(biāo)，計算得此時待糾偏物體到模板點(diǎn)位置的x2,、y2偏移量,；輸入x2、y2偏移量,，則可以得到三個電機(jī)對應(yīng)的給進(jìn)量B1,、B2、B3,；
6,、將5和6步獲取的三個電機(jī)的給進(jìn)量對應(yīng)相加，分別得到對應(yīng)電機(jī)給進(jìn)量C1,、C2,、C3，并用此給進(jìn)量驅(qū)動對應(yīng)電機(jī)即可,。即是,，將運(yùn)動過程拆解，變成平移和旋轉(zhuǎn)部分,，分別計算電機(jī)給進(jìn)量,。

三、基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺