測(cè)高儀是放置于平臺(tái)上進(jìn)行單軸測(cè)量的儀器,，理想的擺放平臺(tái)是花崗石平臺(tái),。

根據(jù)使用的測(cè)量系統(tǒng)可將測(cè)高儀分為：

光柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

感柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

容柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

不同的型號(hào)配置對(duì)應(yīng)不同的使用環(huán)境,，在車間現(xiàn)場(chǎng)或計(jì)量實(shí)驗(yàn)室不同的使用環(huán)境對(duì)工件進(jìn)行測(cè)量,。測(cè)高儀可完成常用參數(shù)的測(cè)量工作,，如高度,、深度,、孔徑,、槽寬,、軸心距、孔心距等參數(shù),，二維測(cè)高儀還可進(jìn)行平面度,、平面角度、錐度的測(cè)量,。通過使用相應(yīng)的附件還可以進(jìn)行垂直度的測(cè)量,。可替代如卡尺,、千分尺,、角度尺等傳統(tǒng)測(cè)量工具，使用方式多樣的多功能測(cè)量設(shè)備,。

TRIMOS測(cè)高儀的主要部件是Heidenhain金屬光柵尺,，來保證測(cè)量精度。

光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。

光柵測(cè)量位移的原理是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量,。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng),。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量,。