天瑞儀器X射線熒光光譜儀（以下簡稱XRF）是一種可以對(duì)多種元素進(jìn)行快速,、非破壞性測定的儀器,，其工作原理可表述為：待測樣品受X射線照射后，其中各元素原子的內(nèi)殼層（K,、L或M殼層）電子被激發(fā)逐出原子而引起殼外電子躍遷，并發(fā)射出該元素的特征X射線（熒光）,；通過測定特征X射線的波長（或能量）和強(qiáng)度,，即可進(jìn)行待測元素的定性和定量分析的光譜分析儀器。

波長色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF),，是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號(hào),。如果分光晶體和控測器作同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角,，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個(gè)波長X射線的強(qiáng)度,，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。該儀器產(chǎn)生于50年代,，由于可以對(duì)復(fù)雜體系進(jìn)行多組分同時(shí)測定,，受到觀注，特別在地質(zhì)部門,，先后配置了這種儀器,，分析速度顯著提高，起了重要作用,。

隨著科學(xué)技術(shù)的,，在60年代初發(fā)明了半導(dǎo)體探測器以后，對(duì)X-熒光進(jìn)行能譜分析成了可能,。能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF),，用X射線管產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進(jìn)入半導(dǎo)體探測器,，便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析,。

由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾,，其背景偏高,，分辨率偏小，使得應(yīng)用范圍受到限制,，特別是在輕元素的分析受到限制,。隨之X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀,，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF,，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了(相對(duì)使用正比計(jì)數(shù)管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率,，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險(xiǎn),，彌補(bǔ)了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷,，又使得(相對(duì)波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低,，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領(lǐng)域的迅猛發(fā)展,，越來越受到廣泛關(guān)注。