原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學(xué)的Quate 于一九八五年所發(fā)明的,其目的是為了使非導(dǎo)體也可以采用掃描探針顯微鏡(SPM)進(jìn)行觀測(cè),。
原子與原子之間的交互作用力因?yàn)楸舜酥g的距離的不同而不同,,其之間的能量表示也會(huì)不同,。
原子力顯微鏡(AFM)與掃描隧道顯微鏡(STM)*大的差別在于并非利用電子隧道效應(yīng),,而是利用原子之間的范德華力(Van DerWaalsForce)作用來(lái)呈現(xiàn)樣品的表面特性,。假設(shè)兩個(gè)原子中,,一個(gè)是在懸臂(cantilever)的探針**,另一個(gè)是在樣本的表面,,它們之間的作用力會(huì)隨距離的改變而變化,,其作用力與距離的關(guān)系,當(dāng)原子與原子很接近時(shí),,彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用,,所以整個(gè)合力表現(xiàn)為斥力的作用,反之若兩原子分開(kāi)有一定距離時(shí),,其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用,,故整個(gè)合力表現(xiàn)為引力的作用。若以能量的角度來(lái)看,,這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證,。
·0.3納米長(zhǎng)期穩(wěn)定
提供NIST可追蹤的參考計(jì)量,并在一年內(nèi)保持測(cè)量的穩(wěn)定性
·260-340個(gè)站點(diǎn)/小時(shí)
內(nèi)聯(lián)應(yīng)用程序的*高生產(chǎn)效率
減少M(fèi)AM時(shí)間和優(yōu)化的晶圓處理可保持高達(dá)50個(gè)晶圓/小時(shí)的吞吐量
·高達(dá)36000微米/秒
仿形速度
通過(guò)熱點(diǎn)識(shí)別提供高分辨率3D特征
·*高分辨率,,尖--端壽命長(zhǎng)
InSight AFP的TrueSense®技術(shù),,具有原子力分析器經(jīng)驗(yàn)證的長(zhǎng)掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度,、凹陷和侵蝕可以*自動(dòng)化地監(jiān)控,,具有可重復(fù)性,無(wú)需依賴測(cè)試鍵或模型,。
蝕刻和CMP晶片的全自動(dòng)在線過(guò)程控制
Insight AFP結(jié)合了原子力顯微鏡的新創(chuàng)新,,包括Bruker的專有CDMode,用于表征側(cè)壁特征和粗糙度,。CDmode減少了所需的橫截面數(shù)量,,實(shí)現(xiàn)了顯著的成本節(jié)約。此外,,AFP數(shù)據(jù)提供了無(wú)法通過(guò)其他技術(shù)獲得的直接側(cè)壁粗糙度測(cè)量,。
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