手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM 公司的Binnig與史丹佛大學(xué)的Quate 于一九八五年所發(fā)明的，其目的是為了使非導(dǎo)體也可以采用掃描探針顯微鏡（SPM）進(jìn)行觀測(cè),。
原子與原子之間的交互作用力因?yàn)楸舜酥g的距離的不同而不同,，其之間的能量表示也會(huì)不同,。
原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）*大的差別在于并非利用電子隧道效應(yīng),，而是利用原子之間的范德華力（Van DerWaalsForce）作用來(lái)呈現(xiàn)樣品的表面特性,。假設(shè)兩個(gè)原子中,，一個(gè)是在懸臂（cantilever）的探針**，另一個(gè)是在樣本的表面,，它們之間的作用力會(huì)隨距離的改變而變化,，其作用力與距離的關(guān)系，當(dāng)原子與原子很接近時(shí),，彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用,，所以整個(gè)合力表現(xiàn)為斥力的作用，反之若兩原子分開(kāi)有一定距離時(shí),，其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用,，故整個(gè)合力表現(xiàn)為引力的作用。若以能量的角度來(lái)看,，這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證,。
·0.3納米長(zhǎng)期穩(wěn)定
提供NIST可追蹤的參考計(jì)量，并在一年內(nèi)保持測(cè)量的穩(wěn)定性
·260-340個(gè)站點(diǎn)/小時(shí)
內(nèi)聯(lián)應(yīng)用程序的*高生產(chǎn)效率
減少M(fèi)AM時(shí)間和優(yōu)化的晶圓處理可保持高達(dá)50個(gè)晶圓/小時(shí)的吞吐量
·高達(dá)36000微米/秒
仿形速度
通過(guò)熱點(diǎn)識(shí)別提供高分辨率3D特征
·*高分辨率,，尖--端壽命長(zhǎng)
InSight AFP的TrueSense®技術(shù),，具有原子力分析器經(jīng)驗(yàn)證的長(zhǎng)掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度,、凹陷和侵蝕可以*自動(dòng)化地監(jiān)控,，具有可重復(fù)性，無(wú)需依賴測(cè)試鍵或模型,。
蝕刻和CMP晶片的全自動(dòng)在線過(guò)程控制
Insight AFP結(jié)合了原子力顯微鏡的新創(chuàng)新,，包括Bruker的專有CDMode，用于表征側(cè)壁特征和粗糙度,。CDmode減少了所需的橫截面數(shù)量,，實(shí)現(xiàn)了顯著的成本節(jié)約。此外,，AFP數(shù)據(jù)提供了無(wú)法通過(guò)其他技術(shù)獲得的直接側(cè)壁粗糙度測(cè)量,。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體,、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購(gòu)中心