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半導(dǎo)體開發(fā)/制造及無塵室用露點儀的特點

來源：深圳市秋山貿(mào)易有限公司 2022年11月18日 17:41

半導(dǎo)體開發(fā)/制造及無塵室用露點儀的特點

在半導(dǎo)體開發(fā)/制造過程中,，去除顆粒,、水分和氧氣等干擾因素是一個主要問題,。我們的露點計、溫濕度計和氧濃度計用于半導(dǎo)體制造、運輸和檢查等各種過程,，以確認消除干擾,。也用于除濕空氣（干燥空氣）的除濕和氮氣、氬氣,、氦氣,、氫氣等的氣體純度測量和管理。相反,，一些過程需要高水分含量,，在這個過程中進行露點測量以保持水分含量恒定。主要使用以下產(chǎn)品,。

水分測量

(1) 將水分含量控制在極小量（ppb 至 1 位數(shù) ppm）的過程
　? TK-100 電容式露點計（氧化鋁型）,，可測量低露點 -100° C (
2) 微量水分 (ppm) 由
　? TE-660 露點儀（聚合物型）低露點為 -60°
C的過程控制
　。（鏡面型）露點儀
④ 過程和無塵室需要相對濕度水平控制的
　? 簡單的 EE060
⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過程
　? 主要在高溫和高濕度下測量 EE33 帶防結(jié)露措施的溫濕度計

氧氣濃度測量

(1) 需要通過氫氣置換等去除氧氣的工序
　? 2001LC 原電池式氧氣濃度計可以確認 1 ppm
以下
　. 4100 型氧化鋯氧氣分析儀

風(fēng)速計

(1) 潔凈室和制造設(shè)備中氣流很重要的過程
　? 能夠測量微風(fēng)的風(fēng)速計

主要產(chǎn)品

TK-100
在線露點儀

技術(shù)測量暢銷書

容性的
±2℃dp
安裝類型
-100 至 +20℃dp
PPM

TE-660
露點變送器

聚合物露點儀

聚合物配方
±2℃dp
安裝類型
-60 至 +20℃dp

MBW373

最高精度

鏡子類型
±0.1℃dp
安裝類型
-100 至 +20℃dp
～+95℃dp
～＋140℃dp

型號201/2001LC

低價機型

原電池類型
安裝類型
PPM
%
貼牌型號

EE33

適用于高濕度和惡劣環(huán)境的溫濕度計

工業(yè)溫濕度露點儀
安裝類型
～+95℃dp
溫度 -40 至 +180℃
防結(jié)露加熱功能

EE060/061

低價型

空調(diào),、農(nóng)業(yè)等通用溫濕度計
安裝類型
探頭類型
溫度 -40 至 +80℃
貼牌型號

相關(guān)產(chǎn)品

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