位移探針臺的介紹

來源：武漢重光科技有限公司 2022年11月14日 14:33

　　探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,，探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,，配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性,，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。

　　重光提供的TS600E-OE位移探針臺可以在測試準(zhǔn)備和測試過程中精確移動探針位置,，實現(xiàn)微米級別的電極接觸；同時探針前端可調(diào)整角度和長度,，從而適應(yīng)樣品范圍更加廣泛,。位移探針臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生命科學(xué),、食品研究,、藥物研發(fā)、地質(zhì)分析,、高分子聚合物,、航空航天、冶金,、液態(tài)晶體,、生物學(xué)等各種研究領(lǐng)域。技術(shù)參數(shù)如下：

TS600E-OE
制冷方式	無	正面觀察窗口大小	φ41mm
溫度范圍（℃）	-196到600℃	探針類型	探針后端XYZ軸方向位置可調(diào),，位移精度1um,，位移范圍±6mm
顯示精度（℃）	0.1	探針材質(zhì)	鎢鋼或鈹銅（探針針尖1um）
控溫精度	0.1℃	探針數(shù)量	四個（可拓展為6個）
樣品區(qū)域	30*35mm	外觀尺寸	41041080mm
最大加熱速率	50℃/min	腔體凈重	5Kg
最大冷卻速率	-40℃/min	備注	探針前端水平角度和長度可調(diào)

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