1,、 亂流式 (Turbulent Flow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)的空氣過濾器(HEPA) 進入GMP凈化工程室,，并由GMP凈化工程室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于GMP凈化工程室等級1,000-100,000級,。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,，潔凈室的擴充比較容易,，在某些用途場所，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級,。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,，欲達需求之潔凈度,，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

2,、層流式(Laminar)層流式空氣氣流運動成一均勻的直線型,，空氣由覆蓋率*之的過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),。此型式適用于GMP凈化工程室等級需定較高的環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重,。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單,，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點：建造費用比亂流式高,，室內(nèi)空間不易擴充,。

(2)垂直層流式：房間天花板以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹,，可得較高的潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。

優(yōu)點：管理容易,，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。

缺點：構(gòu)造費用較高,，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間,，維修更換過濾器較麻煩,。

層流傳遞窗

3、復(fù)合式(Mixed Type)：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,，可提供局部超潔凈的空氣,。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣撸晒?jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用,。此型式 需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式,。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易,；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提上去,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源,，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用,。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產(chǎn)之用；FFU,，高效送風(fēng)口,，潔凈工作臺、無塵車間,、潔凈棚,、新風(fēng)柜，風(fēng)淋室,，層流傳遞窗,，層流車即屬此類。