燒結(jié)爐是一種在高溫下,使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián),,晶粒長大,,空隙(氣孔)和晶界漸趨減少,通過物質(zhì)的傳遞,,其總體積收縮,,密度增加,最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體的爐具,。
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),,是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,,結(jié)構(gòu)緊湊,,在一臺設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,,真空釬焊等工藝,。但是你知道真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況可以采取的應(yīng)急措施嗎?
一、停電
1,、停電時(shí),,如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,,接通水源,。
2、如果在非升溫,、加熱和冷卻時(shí),,能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動設(shè)備,,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間,,則將設(shè)備保持原狀。
3,、如果正在加熱和冷卻時(shí),,能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動設(shè)備,,如果需要較長時(shí)間時(shí),,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來,。
二,、加熱電源掉電
1、水壓低,,當(dāng)水壓低于0.15MPa,,壓力表報(bào)警。
2,、接地故障,。
3、真空放電,,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,,與反射屏絕緣要好。
4,、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電),。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電,。
三,、充氣氣體停止
1、抽真空開始前,,氣體充入時(shí)間長或者無法充入時(shí),,請確認(rèn)氣體管路是否被堵塞,。
2、如氣體管路沒問題,,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
3,、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,,泄壓閥動作如泄壓閥動作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng),。
4,、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質(zhì)量,。
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