在使用油擴(kuò)散泵或分子泵的高真空環(huán)境中,，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸氣,、油蒸氣及其它高沸點(diǎn)的氣體,，但機(jī)械泵抽除殘余氣體的能力低,、時(shí)間長(zhǎng),。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量,。

水蒸氣,、油蒸氣是真空鍍膜領(lǐng)域及高真空獲得領(lǐng)域的主要危害氣體。

（1）由于水蒸氣和油蒸氣的存在,，導(dǎo)致抽真空時(shí)間變長(zhǎng),，真空系統(tǒng)無(wú)法迅速達(dá)到目標(biāo)真空度，生產(chǎn)效率下降,；所需真空度越高，環(huán)境濕度越大,，影響越明顯,。

（2）同時(shí)，水蒸氣,，油蒸氣的存在,，會(huì)導(dǎo)致膜層牢固度下降，無(wú)法多層鍍膜,，顏色不均一等影響產(chǎn)品質(zhì)量現(xiàn)象發(fā)生,。

（3）水蒸氣在某些條件下還會(huì)電離，產(chǎn)生氧氣,，使靶材氧化,，導(dǎo)致鍍膜顏色發(fā)生變化。

深冷水汽捕集泵,，是解決以上問(wèn)題的上佳選擇,。

深冷水汽捕集泵的工作原理，是依照麥森納捕集原理（Principle of Meissner trapping）,，使水汽分子在低溫盤(pán)管（Cryocoil）的超低溫表面上凝結(jié),，有效地吸附水蒸氣，達(dá)到捕集水汽的目的,。

深冷水汽捕集泵的具體應(yīng)用：將一個(gè)-100℃以下的低溫盤(pán)管,，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng),，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體,，從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間），獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí),，達(dá)到10-8 Torr,、10-5 Pa)。

近二十年來(lái),，在深冷水汽捕集泵領(lǐng)域,，國(guó)產(chǎn)設(shè)備取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步,，*替代了PolyCold設(shè)備，性能指標(biāo)與進(jìn)口設(shè)備一致,，價(jià)格不到進(jìn)口設(shè)備的二分之一,，具備很高的性?xún)r(jià)比。在安全性,、便利性,、數(shù)據(jù)可追溯性方面，VaporCold深冷水汽捕集泵,，*超越進(jìn)口同類(lèi)產(chǎn)品,。

在實(shí)際應(yīng)用中，根據(jù)低溫表面所放置的位置不同,，一般可以分為兩大類(lèi) ：

A,、 低溫盤(pán)管（水汽捕集器）

低溫盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位,。非常適用于塑料低溫鍍膜,、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。低溫盤(pán)管需要有加熱除霜功能,，使盤(pán)管在每次破真空之前恢復(fù)到常溫,，避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下一個(gè)產(chǎn)品周期的抽真空時(shí)間,。

B,、低溫?fù)醢澹ɡ溱澹?/p>

放置在油擴(kuò)散泵的泵口、高閥以下,，主要功能是防止油擴(kuò)散泵的油氣返流,，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度,。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),，無(wú)需除霜功能。

根據(jù)需要,，低溫盤(pán)管和低溫?fù)醢?，可以分別安裝，也可以同時(shí)安裝,。

VaporCold水汽捕集泵的主要作用：

縮短抽真空時(shí)間,，提高鍍膜質(zhì)量和產(chǎn)量。

VaporCold水汽捕集泵的主要特點(diǎn)：

1,、快速捕集水汽,、油氣、可縮短抽真空時(shí)間60-90%,；

2,、提高鍍膜質(zhì)量,，防返油、不脫落,、顏色純正,；

3、降溫快,，3分鐘內(nèi)制冷到-100℃,，可達(dá)-150℃；

4,、升溫快,，3分鐘熱氣除霜，迅速回溫,；

5,、制冷系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)，3分鐘可再次降溫;

6,、彩色觸摸屏與工業(yè)PLC組合，歷史記錄可查詢(xún),；

7,、國(guó)際品牌制冷壓縮機(jī)，環(huán)?；旌现评鋭?；

8、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接口,，可設(shè)計(jì)為單路或兩路負(fù)載輸出,；

9、單路或兩路負(fù)載入口溫度和出口溫度的顯示和記錄,；

10,、內(nèi)部溫度、水冷溫度,、排氣溫度,、排氣壓力的顯示和記錄；

11,、除霜溫度自由設(shè)定,，除霜結(jié)束后自動(dòng)提示；

12,、壓縮機(jī)溫度過(guò)高,、壓力過(guò)高報(bào)警保護(hù)；

13,、水冷不足,、水溫過(guò)高報(bào)警保護(hù),；

14、閥門(mén)箱前置,，方便操作,，避免冷凝水泄漏；

15,、本地,、遠(yuǎn)程自由轉(zhuǎn)換，便于機(jī)臺(tái)組合控制,；

16,、配置RS485、TCP/IP通信接口,，方便連接上位機(jī),。

VaporCold系列-135℃深冷水汽捕集泵，采用成熟的核心技術(shù),、可靠的設(shè)計(jì)方案,、進(jìn)口品牌制冷壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌现评鋭?、自動(dòng)復(fù)疊制冷。制冷速度快,、效率高,、溫度低、維護(hù)方便,。其設(shè)計(jì)和制造與國(guó)際技術(shù)水平同步,，性能指標(biāo)達(dá)到甚至*進(jìn)口機(jī)型，可實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口機(jī)型的直接替換,。

長(zhǎng)流儀器歷經(jīng)二十余年的發(fā)展,，針對(duì)真空鍍膜行業(yè)開(kāi)發(fā)了VaporCold系列水汽捕集泵，替代PolyCold,，可為真空鍍膜行業(yè)提供完整的水汽捕集方案,，幫助客戶(hù)提高生產(chǎn)效率、減少生產(chǎn)費(fèi)用, 改進(jìn)制程表現(xiàn), 提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量,。