為解決微型零件加工需求,，速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設(shè)備KASITE-SKD系列微納加工中心，加工余量范圍20nm-100μm,。

一,、設(shè)備核心技術(shù)

高速主軸：德國進口品牌Kasite/SycoTec，轉(zhuǎn)速可達60,000rpm,，精度≤1μm

視覺系統(tǒng)：上下兩個高倍率遠心鏡頭相機,，2,000 W高清像素，空間分辨率≤1μm

直線電機：進口品牌直線電機,，高精度,、高響應(yīng)

光柵反饋：10nm、20 nm,、50 nm,、100 nm

二、相機功能優(yōu)勢

上相機：

① 標定刀具中心和相機中心誤差,。

② 在線檢測工件尺寸確定余量后進行微納加工,。

下相機：

① 對刀功能( 靜態(tài)刀具XYZ值的對刀)。

② 刀具動態(tài)的刀擺補償,。

三,、軟件優(yōu)勢

1.自帶CNC功能的運動控制卡編程運算各指令。

2.自定義運動軌跡控制,，編輯不同形狀，自動完成零件加工需求,。

四,、設(shè)備規(guī)格

五、應(yīng)用領(lǐng)域

設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空航天,、光學,、生物醫(yī)學、半導體,、通用機械加工,、模具制造等領(lǐng)域鉆、銑,、磨高精密加工,。

六、加工應(yīng)用案例

高精度微深孔加工：孔深系數(shù)(D/L)約等于100

微小橢圓高精度加工：按橢圓軌跡磨削加工擴展到短軸0.75mm,，長軸0.9mm,，圓度公差≤2μm

高精密微針加工：微針形狀為圓錐形、圓柱形,、三棱錐,、四棱錐等，高度600-800μm，底邊長200μm,，針體間距500-800μm