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納米壓痕儀知識(shí)分享

來(lái)源:納特斯(蘇州)科技有限公司   2022年09月30日 11:05  
  簡(jiǎn)介
納米壓痕儀種多樣,,常見(jiàn)的有原位納米壓痕儀,SEM納米壓痕儀,國(guó)產(chǎn)納米壓痕儀等。
 
  主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試,,測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積   ,。
 
圖片:

 

 
 
  儀器介紹
 
  納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量,,可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變,、彈性功,、塑性功、斷裂韌性,、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞,、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性,。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī),、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,,包括PVD、CVD,、PECVD薄膜,,感光薄膜,彩繪釉漆,,光學(xué)薄膜,,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,,裝飾性薄膜等等,?;w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬,、合金,、半導(dǎo)體、玻璃,、礦物和有機(jī)材料等   ,。
 
  主要應(yīng)用
 
  半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬,、Bond Pads),;存儲(chǔ)材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護(hù)層),;光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖,、光學(xué)刮擦保護(hù)層),;金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具),;藥理學(xué)(藥片,、植入材料、生物組織),;工程學(xué)(油漆涂料,、橡膠、觸摸屏,、MEMS)等行業(yè),。
 
  技術(shù)特點(diǎn)
 
  1、*符合ISO14577,、ASTME2546,;
 
  2、光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察,;
 
  3,、熱漂移控制技術(shù);
 
  4,、可硬度,、剛度、彈性模量,、斷裂剛度,、失效點(diǎn)、應(yīng)力-應(yīng)變,、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù),;
 
  5,、適時(shí)測(cè)量載荷大小,;
 
  6,、采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器;
 
  7,、快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng),;
 
  8、雙標(biāo)準(zhǔn)校正:熔融石英與藍(lán)寶石 ,。

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