ballwave超微量水分計(jì)FalconTrace系列檢測(cè)原理分析

超微量水分計(jì)「FalconTrace」,，是使用球SAW傳感器,，定量性地測(cè)量工業(yè)用氣體和天然氣極微量包含的水分子的裝置。

響應(yīng)速度極快,，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)含水量變化,，還可進(jìn)行含水量和背景氣體組成分析兩項(xiàng)測(cè)定?？梢詫怏w中的水分濃度準(zhǔn)確地測(cè)量到1ppb（10億分之一）水平,。

球SAW傳感器的測(cè)量原理

①簾子狀電極（IDT；Inter Digital Transducer）產(chǎn)生彈性表面波,。

②彈性表面波在球的赤道上旋轉(zhuǎn),，對(duì)涂抹的感應(yīng)膜的微小變化作出反應(yīng)。

③由波紋狀電極檢測(cè)反應(yīng)后的彈性表面波的信號(hào)變化,。

④通過多次循環(huán)累計(jì)微小的變化，實(shí)現(xiàn)高靈敏度的傳感。

案例分析和用途

1. 半導(dǎo)體制造裝置制造商（主要是前工序）

2. 蓄電池制造商及其材料制造商制造工序

3. 工業(yè)煤氣制造廠

響應(yīng)速度極快，可以以秒為單位監(jiān)測(cè)水分量的變化，在半導(dǎo)體和二次電池的制造過程中有助于產(chǎn)品的成品率和質(zhì)量穩(wěn)定,。

不需要對(duì)每個(gè)背景氣體進(jìn)行再構(gòu)成,，在天然氣等成分有變動(dòng)的情況下也可以同時(shí)檢測(cè)。另外,，由于傳感器材料是水晶球，所以具有耐腐蝕性，重量輕,，便于攜帶也是一大優(yōu)點(diǎn)。

相關(guān)產(chǎn)品介紹

FT-700WT

實(shí)現(xiàn)了“超”微量水分測(cè)量的系列最上位機(jī)種

測(cè)量露點(diǎn)-110℃到-20℃的寬范圍

露點(diǎn)測(cè)量之外又加上,，背景氣體※的組成（相當(dāng)于平均分子量）以%水平也檢測(cè)

※背景氣體：作為水分量測(cè)量對(duì)象的氣體

從天然氣到高純度氣體,，用這一臺(tái)覆蓋

FT-400WT

中端機(jī)型可實(shí)時(shí)測(cè)量

在1秒以內(nèi)測(cè)量露點(diǎn)-90℃的變化，也可以變更為適合實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)的測(cè)量的裝置內(nèi)置型

FT-300WT

高速響應(yīng)性保持原樣,，重視便攜性的小型通用機(jī)型

在1秒以內(nèi)測(cè)量露點(diǎn)-70℃的變化,，也支持實(shí)時(shí)測(cè)量系統(tǒng)

重量為2kg，重量輕,、小型,，容易攜帶到對(duì)象區(qū)域

通過電池驅(qū)動(dòng)，即使在沒有商用電源的地方也可以使用