臭氧濃度的監(jiān)測方法主要包括靛藍二磺酸分光光度法,、紫外光度法、化學發(fā)光法,、差分吸收光譜等,。

1、靛藍二磺酸分光光度法：監(jiān)測原理是空氣中的O3在磷酸鹽緩沖溶液存在下,，與吸收液中藍色的靛藍二磺酸鈉（C16H8O8Na2S2,，簡稱IDS）等摩爾反應，褪色生成靛紅磺酸鈉，在610 nm處測量吸光度,，根據(jù)藍色減退的程度定量空氣中O3的濃度,。

該方法是一種化學監(jiān)測方法，需要采集樣品再進行分析,，步驟較為繁瑣且采樣體積較大,，是早期環(huán)境空氣臭氧分析的主要方法，目前已逐步被自動監(jiān)測方法取代但仍有所應用,，主要適用于分析測試條件較為艱苦以及在線儀器無法工作地區(qū)的臭氧分析[2],。

2、紫外光度法：利用臭氧在波長253.7nm處具有最大吸收值的特性來監(jiān)測臭氧濃度,。根據(jù)朗伯-比爾定律式可知,，當一光束通過臭氧氣體光程長度為d時，只需測得入射光束的強度I0和該光束穿透含有臭氧的空氣后的強度I,，就可以計算出臭氧的濃度C,。

該方法作為一種非破壞性的物理監(jiān)測方法，適用于連續(xù)實時監(jiān)測,，方便簡單,，靈敏度高,。由于紫外光度法監(jiān)測結果的準確性和對臭氧的特異性,，是目前城市空氣質(zhì)量自動監(jiān)測站常用的方法。

3,、化學發(fā)光法：將樣品空氣以恒定的流量通過顆粒物過濾器進入儀器反應室,，空氣中的臭氧與過量乙烯混合，瞬間反應后產(chǎn)生最大波長約為400nm的可見光,，樣品空氣中臭氧濃度與測量光強成正比,。

4、長光程差分吸收光譜法（DOAS）：工作原理是來自高功率氮弧燈4的光束通過共軸望遠鏡3,，直接照射到遠處的反射鏡1上,，反射回的光線經(jīng)光導纖維5傳入光譜儀6的入射口，經(jīng)過一系列光學轉換和信號放大處理之后,，被光譜儀內(nèi)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)7記錄下來,。用上述方法獲得足夠數(shù)據(jù)后，就可建立起吸收光譜數(shù)據(jù)庫,。通過吸收光譜與參比光譜對照,，可以對包括臭氧在內(nèi)的十余種氣體組分作定性分析，通過測量光吸收強度,，可以算出氣體的濃度,。
該方法可以同時監(jiān)測一定范圍內(nèi)多種污染氣體，因而在上世紀80年代末90年代初得到了大范圍的應用，但是該方法依據(jù)反射光進行監(jiān)測,，容易受到光強,、霧天、霾天等因素的影響,，目前應用已經(jīng)逐漸減少,。