真空泵是真空干燥箱的必須品之一，客戶選用真空泵時,，需要注意下列事項:

1,、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHa的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHa,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。

2,、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg,。因而,，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,，但其工作壓強應(yīng)小于110-5mmHg為好。

3,，真空泵在其工作壓強下,，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量

4、正確地組合真空泵,。由干真空泵有選擇性抽氣,，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來,，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極測射離子泵)對氙有一定的抽速，兩者組合起來,，便會使真空裝苦得到較好的真空度,。另外，有的真空泵不能在大氣壓下下作,，需要

預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用,。

5,、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時,，應(yīng)該選各種無油泵,，如;水環(huán)泵，分子篩吸附泵,，濺射離子泵,，低溫泵等。如果要求不嚴格,，可以選擇有油泵,，加上一些防油污

染措施，如加冷阱,、障板,、擋油阱等，也能達到清潔真空要求,。

6.了解被抽氣體成分,，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m,，有無腐蝕性等。選擇真空泵時,，需要知道氣體成分,，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵、如果氣體中含有蒸氣,，顆粒，及腐蝕

性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,。

7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外,。

8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,，若工藝過程不允許,，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。