德國HNP Mikrosysteme(下文簡稱為“HNPM”)公司專注研發(fā),，制造和銷售微型齒輪微量泵。該泵能快速,、精準(zhǔn)輸送填充微量液體,，并成熟應(yīng)用與生命科學(xué)和分析儀器領(lǐng)域、機(jī)械和微型工程,、化學(xué)和制藥工藝工程等領(lǐng)域,。HNPM公司還提供開發(fā)配料系統(tǒng)的客戶定制服務(wù)。

HNPM微環(huán)形齒輪泵主要產(chǎn)品：

HNPM高性能泵,、HNPM低壓泵,、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵,、HNPM磁性密封齒輪泵5大系列,。

HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設(shè)備的應(yīng)用案例：

SUSS MicroTec集團(tuán)ACS200 GEN3自動涂布機(jī)既包含大量的創(chuàng)新設(shè)計，又結(jié)合了Gamma和ACS200Plus平臺的*佳優(yōu)點,。最多能夠配備4個涂膠顯影模塊和19個冷熱板,，非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。該平臺具有的模塊配置靈活性,，其技術(shù)不僅可以滿足*封裝,、MEMS和LED等應(yīng)用要求，同時也適合研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)的需求,。在這個平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205,，實現(xiàn)了高精度,、低脈動、低體積劑量,，介質(zhì)是丙酮與光刻膠,。

SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求：

?低脈動、可重復(fù)的體積流量,。

?體積流量與線速度的動態(tài)適應(yīng)性,。

?緊湊型計量泵

?集成微控制器

?控制系統(tǒng)的簡單集成

HNPM高性能泵mzr-7205特點:

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min，HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點高精度,、低脈動,、低體積劑量（即使是非潤滑液體）或高壓、緊湊設(shè)計和集成微控制器,。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內(nèi)給藥,，并顯示出較小的經(jīng)濟(jì)尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業(yè)生產(chǎn)和工藝技術(shù)應(yīng)用為主,。HNPM高性能泵mzr-7205設(shè)計用于連續(xù)輸送和離散劑量的水,、水溶液、溶劑,、甲醇,、油、潤滑劑,、粘合劑,、油墨和油漆以及其他高粘度液體。

HNPM高性能泵其他型號：

mzr-2505,、mzr-2905,、mzr-4605、mzr-7205,、mzr-11508等