鎢燈絲掃描電鏡一種新型的電子光學(xué)儀器,。它具有制樣簡單,、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬,、圖像的分辨率高、景深大等特點,。數(shù)十年來,,已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué),、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,,促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展,。
掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒,,成像信號可以是二次電子,、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號,。由電子槍發(fā)射的能量為5~35keV的電子,,以其交叉斑作為電子源,經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量,、一定束流強度和束斑直徑的微細(xì)電子束,,在掃描線圈驅(qū)動下,于試樣表面按一定時間,、空間順序作柵網(wǎng)式掃描,。聚焦電子束與試樣相互作用,產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其它物理信號),,二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化,。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號,經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極,,調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度,,得到反映試樣表面形貌的二次電子像。
同時高能電子束作用在樣品表面會激發(fā)出各種信號,,主要包括:二次電子、背散射電子,、吸收電子,、X射線、俄歇電子,、陰極熒光和透射電子等,,這些信號被相應(yīng)的接收器接收,經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上,,調(diào)制顯像管的亮度,,電子束打到樣品上一點,在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮點,,就是這樣采用逐點成像的方法,,把樣品表面不同的特征,按順序成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號,,從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像,。
鎢燈絲掃描電鏡可以觀察單個原子在物質(zhì)表面的狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學(xué)性質(zhì),,在表面科學(xué),,材料科學(xué),、生命科學(xué)、藥學(xué)化學(xué)納米技術(shù)等研究領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景,,但STM要求樣品表面與針尖具有導(dǎo)電性,,這也是STM在應(yīng)用方面的局限所在。
在進(jìn)行鎢燈絲掃描電鏡觀察前,,要對樣品作相應(yīng)的處理,。樣品制備的主要要求是:盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好,沒有變形和污染,,樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能,。
用鎢燈絲掃描電鏡觀察的部位常常是樣品的表面,即組織的游離面,。由于樣品取自活體組織,,其表面常有血液、組織液或粘液附著,,這會遮蓋樣品的表面結(jié)構(gòu),,影響觀察。因此,,在樣品固定之前,,要將這些附著物清洗干凈。
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