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壓力傳感器的種類繁多,，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器,、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器,、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器,、電容式壓力傳感器,、諧振式壓力傳感器等。
目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器有：擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器,、陶瓷壓阻壓力傳感器,、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器,、耐高溫特性的藍(lán)寶石壓力傳感器,。但應(yīng)用尤為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性
壓阻式壓力傳感器
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),，引出電極引線,。 提到壓阻式傳感器，首先得講到它的原理——壓阻效應(yīng),。
壓阻效應(yīng)是用來描述材料在受到機(jī)械式應(yīng)力下所產(chǎn)生的電阻變化,。不同于壓電效應(yīng)，壓阻效應(yīng)只產(chǎn)生阻抗變化,，并不會產(chǎn)生電荷,。
陶瓷壓力傳感器
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,，使膜片產(chǎn)生微小的形變,，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,，連接成一個惠斯通電橋(閉橋)，由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),，使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性,、與激勵電壓也成正比的電壓信號，標(biāo)準(zhǔn)的信號根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容,。通過激光標(biāo)定，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0 ～70℃,，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
陶瓷是一種*的高彈性,、抗腐蝕,、抗磨損、抗沖擊和振動的材料,。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40 ～135 ℃,，而且具有測量的高精度,、高穩(wěn)定性,。電氣絕緣程度2kV，輸出信號強(qiáng),，長期穩(wěn)定性好,。
壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)是某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時,，其內(nèi)部會產(chǎn)生極化現(xiàn)象,，同時在它的兩個相對表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后,，它又會恢復(fù)到不帶電的狀態(tài),，這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。當(dāng)作用力的方向改變時,，電荷的極性也隨之改變,。相反，當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向上施加電場,，這些電介質(zhì)也會發(fā)生變形,，電場去掉后，電介質(zhì)的變形隨之消失,，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng),。
壓電式壓力傳感器的種類和型號繁多，按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類,。膜片式主要由本體,、膜片和壓電元件組成,。壓電元件支撐于本體上，由膜片將被測壓力傳遞給壓電元件,，再由壓電元件輸出與被測壓力成一定關(guān)系的電信號,。這種傳感器的特點(diǎn)是體積小、動態(tài)特性好,、耐高溫等?，F(xiàn)代測量技術(shù)對傳感器的性能出越來越高的要求。
電阻應(yīng)變式壓力傳感器
將電阻應(yīng)變片粘貼在彈性元件特定表面上,，當(dāng)力,、扭矩、速度,、加速度及流量等物理量作用于彈性元件時,，會導(dǎo)致元件應(yīng)力和應(yīng)變的變化，進(jìn)而引起電阻應(yīng)變片電阻的變化,。電阻的變化經(jīng)電路處理后的以電信號的方式輸出,，這就是電阻應(yīng)變片傳感器的工作原理。
電阻應(yīng)變片應(yīng)用最多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種,。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種,。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時,，電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,，使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化,。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小,，一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋，并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大,，再傳輸給處理電路(通常是 A/D 轉(zhuǎn)換和 CPU )顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu),。
電感式壓力傳感器
電感式壓力傳感器是用電感線圈電感量變化來測量壓力的儀表。
常見的有氣隙式和差動變壓器式兩種結(jié)構(gòu)形式,。氣隙式的工作原理是被測壓力作用在膜片上使之產(chǎn)生位移,，引起差動電感線圈的磁路磁阻發(fā)生變化，這時膜片距磁心的氣隙一邊增加,，另一邊減少,，電感量則一邊減少.另一邊增加，由此構(gòu)成電感差動變化,，通過電感組成的電橋輸出一個與被測壓力相對應(yīng)的交流電壓,。具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點(diǎn),，適宜在有振動或沖擊的環(huán)境中使用,。
電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器,。特點(diǎn)是，低的輸入力和侏儒能量,，高動態(tài)響應(yīng),，小的自然效應(yīng)，環(huán)境適應(yīng)性好,。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號,。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器,。
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