無油干式機械真空泵（深圳市德世力自動化設(shè)備有限公司有售，簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,，又能將被抽氣體直接排到大氣中去,，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵,。目前,，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油,、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),，在泵內(nèi)起冷卻,、密封、潤滑等多種作用,。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大,，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量,、數(shù)量,，增加設(shè)備的維護成本。其次,，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì),，使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,，但不能*解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜,。而使用適當(dāng)型式的干式機械真空泵,，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中,，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學(xué)工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥,、脫泡,、包裝等，要防止有機溶劑造成污染,，適合用干式真空泵,；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染,。近年來,，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展,，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作,，如東北大學(xué),、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等,。目前,，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式,、凸輪式,、往復(fù)活塞式、膜片式等,，這類泵的速度較低,，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型,、爪型,、螺桿型、渦旋型等,，其速度較高,，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）,。不同類型的干式泵具有各自的特點,。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。

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