1. 有機污染物的清洗去除

      等離子設(shè)備可清除氧化物、氟化物等,。Bond Pad在進入下一步工藝流程前,，首先需要清除上面的有機物等污染物,。在我們設(shè)備腔體里，可以通過微波源將通入的工藝氣體離子化,，產(chǎn)生的許多離子自由基等可以和污染物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成新的可揮發(fā)的分子,，從而達到清洗目的。

2. 表面清洗（Mold,，WireBond等）

      芯片封裝過程中,，在WireBonding前對Bond Pad進行等離子清洗從而提高清潔度，已經(jīng)是基本必要的流程,。通過微波等離子設(shè)備清洗后,，可以檢查到其所打線的拉力和剪切力得到非常顯著的提高。

3. 表面活化（FlipChip Underfill）

 

      如今,，不管是采用一般封裝工藝還是倒裝芯片封裝工藝,，在用化合物填充封裝前，都需要對被封裝對象進行等離子清洗,。為了提高產(chǎn)品優(yōu)良率,，這一步驟已經(jīng)被業(yè)界認(rèn)為是必須過程。微波等離子清洗設(shè)備可以將芯片封裝前的所有大小表面（包括間隔縫隙）,，都能按生產(chǎn)要求進行活化和調(diào)整,。

4. 晶圓表面處理（清洗/活化）

      等離子處理常常被用來優(yōu)化晶圓表面接口條件,，能讓接口變得導(dǎo)電或者絕緣。半導(dǎo)體,、玻璃,、石英，甚至塑料材料都能積極響應(yīng)等離子的活化反應(yīng),，從而更好被粘接,。