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1.3 金屬
半導(dǎo)體工藝中常見的金屬雜質(zhì)有鐵、銅,、鋁,、 鉻 、鎢 ,、鈦 ,、鈉 、鉀 ,、鋰等 ,，這些雜質(zhì)的來源主要有：各種器皿、管道 ,、化學(xué)試劑,，以及半導(dǎo)體圓片加工過程中，在形成金屬互連的同時(shí),，也產(chǎn)生了各種金屬污染,。這類雜質(zhì)的去除常采用化學(xué)方法進(jìn)行，通過各種試劑和化學(xué)藥品配制的清洗液與 金屬離子反應(yīng),，形成金屬離子的絡(luò)合物,，脫離圓片表面。
1.4 氧化物
半導(dǎo)體圓片暴露在含氧氣及水的環(huán)境下表 面會(huì)形成自然氧化層,。這層氧化薄膜不但會(huì)妨礙 半導(dǎo)體制造的許多工步,，還包含了某些金屬雜 ,。
PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),，可以對(duì)清洗劑,、半導(dǎo)體、超純水,、電子產(chǎn)品,、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測(cè)和分析,，目前是英國普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測(cè)領(lǐng)域的重要產(chǎn)品,。
相關(guān)產(chǎn)品
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