當(dāng)前金屬原料板材經(jīng)裁剪（或打磨）,、化學(xué)清洗及干燥處理后,，存放于真空度較低（約100Pa）的真空儲存柜,，仍不可避免地帶來碳,、氧,、氮等雜質(zhì)元素的吸附污染,。金屬材料全自動高真空貯存柜主要用于合金原材料的高真空貯存,。

高真空儲存柜為非標(biāo)工藝設(shè)備,，主要原理為真空干燥箱類似抽真空,，主要由進(jìn)樣室、儲樣室,、傳送裝置,、計(jì)算機(jī)自動識別與控制等部分組成,。

   高真空儲存柜技術(shù)要求與指標(biāo)

   1、進(jìn)樣室

進(jìn)樣室為單腔室,，主要材質(zhì)為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼）,，腔室內(nèi)表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝,、部件裝配工藝嚴(yán)格按照真空規(guī)范執(zhí)行,，保證進(jìn)樣室具有高真空度、高清潔度,。具有自動放氣功能,，并帶有正壓保護(hù)閥。

進(jìn)樣室包括：快速進(jìn)樣法蘭,，視窗,，傳送裝置，樣品托盤,，分子泵,，干泵，真空規(guī),，放氣裝置,，照明裝置。極限真空度：空載,、干燥,、室溫下30分鐘內(nèi)達(dá)到10^-4 Pa，漏率小于1×10^-11 Pa·m³/s,。

閥門至少包括4個,，包括分子泵連接進(jìn)樣室、進(jìn)樣室連接儲樣室（為氣動插板閥）,、放氣閥,、漏閥。泵包括1個分子泵和1個干泵,，泵組的抽速需要滿足同時給進(jìn)樣室和儲樣室抽真空的要求,。

    2、儲樣室

儲樣室為單腔室,，主要材質(zhì)為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼）,，腔室內(nèi)表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝,、部件裝配工藝嚴(yán)格按照真空規(guī)范執(zhí)行,，保證儲樣室具有高真空度、高清潔度,。

儲樣室包括：連接進(jìn)樣室法蘭,，快開門法蘭和視窗,，存樣裝置，離子泵,，真空規(guī)，照明裝置,。極限真空度：空載,、干燥、室溫下≤5′10^-6 Pa,；漏率：<1′10^-11 Pa.m³/s,；空載靜態(tài)保壓：關(guān)閉抽氣設(shè)備12小時后靜態(tài)真空≤5×10^-2 Pa；存,、取放樣品時,，儲樣室不暴露大氣；保留快開門方便儲樣室內(nèi)部維護(hù)和清理,；儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6 kg,。

閥門至少包括1個，包括離子泵連接儲樣室,。泵包括1個離子泵,，離子泵的規(guī)格需要滿足儲樣室抽真空的要求，離子泵帶鈦升華泵,，自帶加熱功能及配套電源,。

    3、 傳送裝置及計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g,；

控制系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì),，可實(shí)現(xiàn)PLC自動控制真空泵機(jī)組抽真空、機(jī)械傳送裝置在進(jìn)樣室與儲樣室間進(jìn)樣與取樣,、儲樣室樣品架升降旋轉(zhuǎn),、進(jìn)樣室放氣等全自動過程，采用真空,、位置等參數(shù)反饋控制上述動作,，無需人為干涉；

可任意查詢某批樣品的位置和數(shù)量,；

可視化仿真軟件顯示與控制,，實(shí)時顯示進(jìn)樣室和儲樣室真空度、溫度等信息,；

系統(tǒng)應(yīng)與甲方的上位控制系統(tǒng)進(jìn)行通訊,，數(shù)據(jù)應(yīng)采集至上位控制系統(tǒng)中，通訊接口及協(xié)議應(yīng)滿足甲方的接口規(guī)范,。

金屬材料全自動高真空貯存柜的技術(shù)要求列于表1中,。

表1 詳細(xì)技術(shù)指標(biāo)