靶材為什要測量密度,?秒準靶材密度計的優(yōu)勢在哪里,?
靶材本身的致密度,,靶材的致密度很高時,,不易吸附,無空隙,,背靶易脫落,。
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度,。靶材的密度不僅影響濺射速率,,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,,薄膜的性能越好,。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力,。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一,。
靶材在生產(chǎn)制造的過程中需要對其密度進行測試,采用的方法是阿基米德原理,,儀器自動計算出靶材密度g/cm3,。目前生產(chǎn)的測試采用人工對靶材進行測量,由于靶材重量大,,操作不便,,不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進行操作,。因此解決這一問題就顯得十分必要,。
如何測量靶材的密度?
陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料,。按材質(zhì)分類可分為金屬靶材(純金屬鋁,、鈦、銅,、鉭等),、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等),、陶瓷化合物靶材(氧化物,、硅化物、碳化物,、硫化物等),。按應用領(lǐng)域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材,、太陽能電池靶材,、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理:根據(jù)ASTM B311,、B328,;MPIF 42、57,;JIS Z2505,、Z2506,、GB/T5163、ISO2738,??蛇m用于采用阿基米德原理浮力法,準確直讀量測數(shù)值,。
秒準靶材密度計經(jīng)過市場10幾年的驗證以及不斷的研發(fā)升級,,現(xiàn)已具備以下特點:
1、數(shù)顯直讀,,無需人工計算,,直接顯示密度和體積等參數(shù)。
2,、全彩7寸觸摸屏操作,,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報告,。
3,、采用梅特勒傳感器,測量精準,、操作簡便,、穩(wěn)定耐用。
4,、具有實際水溫補償功能,,可適應測試環(huán)境變化。
5,、可設(shè)定媒介液密度,,使用水作介質(zhì),也可使用其它液體介質(zhì),。
6,、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,,底部設(shè)計靜音萬向輪,,便于移動。
7,、含USB通信接口,,方便與電腦連接,。
8,、內(nèi)置靜音排水系統(tǒng),方便換水,。
功能描述:
1,、直接讀取靶材工件的密度和體積,。
特別備注:秒準靶材密度計支持非標定制,已經(jīng)為多家用戶實現(xiàn)自動化密度測試儀非標定制,,搭配機械手/吊機,,自動完成密度測試,自動輸出數(shù)據(jù),。
MAYZUM(保修期:三年) | ||||
型號 | MAY-AE10 | MAY-AE30 | MAY-AE50 | MAY-AE80 |
最大稱重 | 0.1g-10kg | 0.1g-30kg | 0.5g-50kg | 2g-80kg |
密度精度 | 0.001 g/cm3 | |||
密度范圍 | 0.001~99.999g/cm3 | |||
水槽尺寸 | 水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長寬高),,依據(jù)客戶工件尺寸定制最終尺寸 | |||
測量時間 | 約5秒 | |||
測量步驟 | 放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,,并打印數(shù)據(jù)報告,。 | |||
結(jié)果顯示 | 密度,,體積,,比重值 | |||
參數(shù)設(shè)定 | 水溫設(shè)定、媒介液體密度設(shè)定 | |||
校正方式 | 一鍵自動校正 | |||
輸出方式 | RS-232C標準通信接口,、方便測試數(shù)據(jù)輸出與打印 | |||
溫濕度范圍 | 允許環(huán)境溫度:0~45℃,;允許相對濕度:80%以內(nèi) | |||
電 源 | AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可) | |||
操作面板 | 7寸觸摸屏 | |||
標準配件 | ①主機一臺,、②測量組件一套,、③電源變壓器一個、④打印紙1卷 |
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