以輝光放電或高頻放電（其它放電方式也 類同）產(chǎn)生低溫等離子體時,，首先是自由電子從 電場中獲得能量,，成為高能量電子，當這種高能 鼠電子與氣體中的分子或原子碰撞時,，如電子 的能量比分子或原子的激發(fā)能大,，就可以產(chǎn)生 激發(fā)分子或激發(fā)原子、自由基,、離子和各種能量 的輻射線等.這些不穩(wěn)定的粒子和輻射線,，將 通過不同的方式將其能量轉(zhuǎn)移到置于系統(tǒng)中的 高分子材料表面，從而產(chǎn)生種種物理化學反應,。

低溫等離子體中的中性粒子,，如原子、激發(fā) 態(tài)分子或原子等,，將其平動能和振動能傳給高 分子材料,，使后者表面加熱。而其離解能（自由 基）則通過在高分子材料表面進行的消除,、加 成,、氧化等化學反應而消耗掉,，駕可以通過在固 體表面進行自由基復合而形成加熱,。激發(fā)態(tài)原 子，或是以輻射光量子的形式釋放出原來吸收 的能量返回基態(tài),，或是過渡到具有io-*-10- 秒壽命的亞穩(wěn)態(tài),，再與高分子材料表面作用,，使 后者表面大分子產(chǎn)生自由基。

低溫等離子體中的荷電粒子,，主要是電子 和帶正電荷的正離子,，它們的濃度為10"cmT 左右，比中性粒子濃度要低得多,。,具有較高動 能的電子轟擊到材料表面,，使其產(chǎn)生大分子自 由基。正離子的動能較低,，但其攜帶的電能足 夠高時,，可使高分子材料表面由于電子轉(zhuǎn)移，而 產(chǎn)生大分子離子,。