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公眾號：chem17
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Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行,。通過延長使用壽命,、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積,、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能,。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒,、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 ixm 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,，請與 Edwards 聯(lián)系,。
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù),。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理,。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體,。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證,。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,，從而降低了總體占地面積,。
相關(guān)產(chǎn)品
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