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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

來源:武漢科賽思機電有限公司   2021年10月09日 11:19  

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    1.G1?G2接觸子間放入微動臺,。

 

 2.先移動G1接觸子、控制部指示値為行程的一

(-210~-220μm)固定接觸子,。

 

 .然后移動G2接觸子、控制部指示値μ時固定接觸子,。

 

?。矗优_朝返回方向返回100μ(100μ)確認控制 指示値,。

 

   5.微動臺至進給原位置(零位置),、確認控制部 指示値0μm〔注1〕。

 

?。叮优_在進給方向進給100μm(100μm),、確認控制部指示値。

 

   7.微動臺回到原位置(零位置),、確認控制部指示値0μm〔注1〕,。

 

 8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm,。

 

   9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整,、重復(fù)[1.][8.]的作業(yè)不超過時進行接下來的檢查,。

 

〔注1〕 微動臺在原位置(零位置),、控制部指示値不為0μm需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè),。

 

 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量(別紙),。


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