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一臺典型的X射線熒光（XRF）儀器由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成,。X射線管產生入射X射線（一次X射線）,，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。
然后,，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。X射線照在物質上而產生的次級X射線被稱為X射線熒光,。利用X射線熒光原理,，理論上可以測量元素周期表中鈹以后的每一種元素,。在實際應用中，有效的元素測量范圍為9號元素（F）到92號元素（U）,。
X射線用于元素分析,，是一種新的分析技術，但在經過二十多年的探索以后,，現在已*成熟,，已成為一種廣泛應用于冶金、地質,、有色,、建材、商檢,、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領域。
每個元素的特征X射線的強度除與激發(fā)源的能量和強度有關外,，還與這種元素在樣品中的含量有關,。根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息,。這就是X射線熒光分析的基本原理,。
X射線熒光分析儀的優(yōu)點：對于已壓鑄好的機械零件可以做到無損檢測，而不毀壞樣品,。測試速率高,，可以在較少時間內進行大量樣品測試，分析結果可以通過計算機直接連網輸出,。分析速度較快,。對于純金屬可采用無標樣分析，精度能達分析要求,。不需要專業(yè)實驗室與操作人員,，不引入其它對環(huán)境有害的物質。
X射線熒光分析儀的缺點：關于非金屬和界于金屬和非金屬之間的元素很難做到精確檢測,。在用基本參數法測試時,，如果測試樣品里含有C、H,、O等元素,，會出現誤差。
不能作為仲裁分析方法,，檢測結果不能作為國家認證根據,，不能區(qū)分元素價態(tài)。對于鋼鐵等含有非金屬元素的合金,，需要代表性樣品進行標準曲線繪制,，分析結果的精確性是建立在標樣化學分析的基礎上,。標準曲線模型需求不時更新，在儀器發(fā)生變化或標準樣品發(fā)生變化時,，標準曲線模型也要變化,。
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